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產(chǎn)品介紹：
此設備主要應用于OLED行業(yè)，為其研發(fā) 、品質(zhì)管控與不良分析提供數(shù)據(jù)的檢測設備。此設備是對OLED蒸鍍后的產(chǎn)品進行在線檢查，檢查蒸鍍偏位、像素異物、劃傷等不良。
該產(chǎn)品的測量軟件高度集成了測量、缺 陷分析、MS對接、PL C對位控制、多軸運動速度控制，以及光學系統(tǒng)調(diào)節(jié)功能(光源調(diào)節(jié)、倍率調(diào)節(jié)、焦距自動調(diào)節(jié)等功能) ，與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動控制、人性化操作等方面的優(yōu)勢。
產(chǎn)品參數(shù)：
運動行程 (mm) | X:1100 Y:1500 (電動） |
調(diào)焦行程 (mm) | Z軸150m m(電動） |
主顯微鏡系統(tǒng) | 三目觀察筒 |
示值誤差（um）
| 視場外精度 X/Y≤（(5+L/ 200)μm； |
照明系統(tǒng) | 觀察顯微鏡：汞燈/鹵素/LED 表面光 |
操作臺 | 功能：啟動/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/ 電腦制開關/破真空/吸附/局部吸附/ 亮度調(diào)節(jié)/倍率切換/三軸微調(diào) |
驅動系統(tǒng) | X/Y龍門直線電機雙驅 ，Z軸伺服電機驅動 |
外形尺寸 (mm) 長X寬X高 | 3160*4130*3400 |
儀器重量 (kg) | 13000 |
玻璃臺承重(kg) | 2.5 |
儀器電源 | 220V(AC)±10% 50HZ |
運行高度 ( mm ) | 1000 |
測量軟體 | 完整的畫面實時二維量測自動保存圖片自動上傳數(shù)據(jù)/主線MS對接實時坐標定位/支持多款控制器支持多款工業(yè)相機 |
