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產(chǎn)品中心

當前所在的位置:首頁 · 產(chǎn)品中心 · 微納檢查 · 顯微鏡檢查機系列

全自動超大型直線雙驅(qū)測量顯微鏡

1、符合人機工程學(xué)設(shè)計準則方便操作測量。
2、可實現(xiàn)Z軸自動對焦。
3、具有偏光和DIC檢測功能。
4、采用主動式減震裝置,提高整機精度穩(wěn)定性。
5、 自主開發(fā)INS系列軟件,高清彩色攝像機。
6、同軸光/底光測量。
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  • 產(chǎn)品簡介


產(chǎn)品介紹:


該光學(xué)顯微鏡檢查設(shè)備主要應(yīng)用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)光電產(chǎn)業(yè),為其研發(fā)、品質(zhì)管控與不良分析提供必需的檢測設(shè)備??蓪?yīng)觀察OLB壓接粒子分布、液晶LCD面板Pattern異物/劃傷等不良,以及導(dǎo)電粒子粒徑測量等功能。


該產(chǎn)品的測量軟件高度集成了測量、缺陷分析,多軸運動速度控制,以及光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié)功能(光源調(diào)節(jié)、倍率調(diào)節(jié)、焦距自動調(diào)節(jié)等功能),與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動控制、人性化操作等方面的優(yōu)勢。


特色:


1、采用Nikon或者Olympus高解析度光學(xué)系統(tǒng)。


2、強大的點、線、弧量測功能。


3、清晰逼真的觀測效果。


4、龍門式結(jié)構(gòu)設(shè)計。


5、花崗巖基座平臺。


6、可依據(jù)客戶要求設(shè)計。


技術(shù)參數(shù):


工作臺尺寸(mm)2800*1900
玻璃臺尺寸(mm)2600*1700
運動行程(mm)X:2500  Y:1600(電動)
調(diào)焦行程(mm)Z軸100mm(電動)
主顯微鏡系統(tǒng)(Nikon or Olympus)

三目頭

目鏡:10倍

物鏡:2.5X、5X(BD)、10X(BD)、20X(BD)、50X(BD)觀察模式:反射,透射,偏光,明場,暗場,DIC

5孔電動物鏡轉(zhuǎn)換鏡

側(cè)顯系統(tǒng)

單筒鏡頭:美國NAVITAR無窮遠同軸光鏡頭

變倍范圍:0.7X-4.5X

金相物鏡:三豐APO長工作距離金相物鏡(選配)

倍率:10X

工作距離:33.5mm(加裝金相物鏡后)

景深:3.5um

Min Focus Step: 0.3um

激光安全防撞

示值誤差(視場內(nèi))mm視場外精度X.Y小于等于(3+L/200)um,Z小于等于(5+L/200)um
照明系統(tǒng)鹵素燈表面光及輪廓光
操作臺

定制型操作臺 

功能: 啟動/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/電腦開關(guān)/破真空/倍率切換/三軸微調(diào)/電動偏光/電動DIC

驅(qū)動系統(tǒng)X/Y龍門直線電機雙驅(qū),Z軸伺服電機驅(qū)動
工業(yè)相機

傳感器類型: CMOS,全局快門

傳感器型號: IMX264

像元尺寸: 3.45 μm × 3.45 μm

靶面尺寸: 2/3”

分辨率: 2448 × 2048

幀率:23.27 fps

動態(tài)范圍: 72 dB

信噪比: 40.2 dB

黑白/彩色: 彩色

外形尺寸(mm)

長X寬X高

4500*2500*1500
儀器重量(KG)8300
玻璃臺承重20KG
儀器電源220V(AC) 50HZ ,125W
Passline(mm)950
測量軟體

完整的畫面實時二維量測

自動保存圖片

錄像功能

實時坐標定位

指定的Folder和Server上保存Image

支持多款控制器

支持多款工業(yè)相機

圖像掃描拼接