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產(chǎn)品介紹:
該光學(xué)顯微鏡檢查設(shè)備主要應(yīng)用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)光電產(chǎn)業(yè),為其研發(fā)、品質(zhì)管控與不良分析提供必需的檢測設(shè)備??蓪?yīng)觀察OLB壓接粒子分布、液晶LCD面板Pattern異物/劃傷等不良,以及導(dǎo)電粒子粒徑測量等功能。
該產(chǎn)品的測量軟件高度集成了測量、缺陷分析,多軸運動速度控制,以及光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié)功能(光源調(diào)節(jié)、倍率調(diào)節(jié)、焦距自動調(diào)節(jié)等功能),與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動控制、人性化操作等方面的優(yōu)勢。
特色:
1、采用Nikon或者Olympus高解析度光學(xué)系統(tǒng)。
2、強大的點、線、弧量測功能。
3、清晰逼真的觀測效果。
4、龍門式結(jié)構(gòu)設(shè)計。
5、花崗巖基座平臺。
6、可依據(jù)客戶要求設(shè)計。
技術(shù)參數(shù):
工作臺尺寸(mm) | 2800*1900 |
玻璃臺尺寸(mm) | 2600*1700 |
運動行程(mm) | X:2500 Y:1600(電動) |
調(diào)焦行程(mm) | Z軸100mm(電動) |
主顯微鏡系統(tǒng)(Nikon or Olympus) | 三目頭 目鏡:10倍 物鏡:2.5X、5X(BD)、10X(BD)、20X(BD)、50X(BD)觀察模式:反射,透射,偏光,明場,暗場,DIC 5孔電動物鏡轉(zhuǎn)換鏡 |
側(cè)顯系統(tǒng) | 單筒鏡頭:美國NAVITAR無窮遠同軸光鏡頭 變倍范圍:0.7X-4.5X 金相物鏡:三豐APO長工作距離金相物鏡(選配) 倍率:10X 工作距離:33.5mm(加裝金相物鏡后) 景深:3.5um Min Focus Step: 0.3um 激光安全防撞 |
示值誤差(視場內(nèi))mm | 視場外精度X.Y小于等于(3+L/200)um,Z小于等于(5+L/200)um |
照明系統(tǒng) | 鹵素燈表面光及輪廓光 |
操作臺 | 定制型操作臺 功能: 啟動/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/電腦開關(guān)/破真空/倍率切換/三軸微調(diào)/電動偏光/電動DIC |
驅(qū)動系統(tǒng) | X/Y龍門直線電機雙驅(qū),Z軸伺服電機驅(qū)動 |
工業(yè)相機 | 傳感器類型: CMOS,全局快門 傳感器型號: IMX264 像元尺寸: 3.45 μm × 3.45 μm 靶面尺寸: 2/3” 分辨率: 2448 × 2048 幀率:23.27 fps 動態(tài)范圍: 72 dB 信噪比: 40.2 dB 黑白/彩色: 彩色 |
外形尺寸(mm) 長X寬X高 | 4500*2500*1500 |
儀器重量(KG) | 8300 |
玻璃臺承重 | 20KG |
儀器電源 | 220V(AC) 50HZ ,125W |
Passline(mm) | 950 |
測量軟體 | 完整的畫面實時二維量測 自動保存圖片 錄像功能 實時坐標定位 指定的Folder和Server上保存Image 支持多款控制器 支持多款工業(yè)相機 圖像掃描拼接 |