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產(chǎn)品介紹
該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測(cè)、LCD液晶屏檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)室材料分析及其他精密工程檢測(cè)領(lǐng)域。
可對(duì)樣品進(jìn)行明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素?zé)?、光纖照明，配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器。
技術(shù)參數(shù)：
| 工作臺(tái)尺寸 | 820*760 | 1060*1000 | 1360*1000 |
| 玻璃臺(tái)尺寸（mm） | 528*428 | 728*628 | 928*628 |
運(yùn)動(dòng)行程（mm） | X:508 Y:408 | X:708 Y:608 | X:900 Y:600 |
調(diào)焦行程（mm） | Z:150 | Z:100 | Z:100 |
顯微鏡系統(tǒng) | 三目觀察筒 目鏡：10倍 物鏡：2.5X、5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（CR） 觀察模式：反射，透射，偏光，明場(chǎng)，暗場(chǎng)，DIC 5孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||
示值誤差（um） | 視場(chǎng)內(nèi)：2μm；視場(chǎng)外精度X/Y≤（3+L/200），Z≤（5+L/200） | ||
照明系統(tǒng) | 鹵素?zé)艏癓ED光 | ||
| CCD | 500W像素 | ||
| 外形尺寸（mm）長X寬X高 | 1760*2180*1850 | ||
| 儀器重量（kg） | 2300 | ||
| 玻璃臺(tái)承重（kg） | 30 | 50 | 50 |
| 電源 | 220V±10% | ||
| 測(cè)量軟件 | 完整的畫面實(shí)時(shí)二維量測(cè) 自動(dòng)保存圖片 錄像功能 實(shí)時(shí)坐標(biāo)定位 指定的Folder和Server上保存Image 支持多款控制器 支持多款工業(yè)相機(jī) 圖像掃描拼接 | ||
