當(dāng)前所在的位置：首頁 · 產(chǎn)品中心 · 微納檢查 · 光學(xué)顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)機(jī)系列
產(chǎn)品介紹：
INTJ-51A系列顯微鏡的各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，最大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì)，可對系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能。
適用于晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測?？筛鶕?jù)實(shí)際應(yīng)用，進(jìn)行功能選擇。
技術(shù)參數(shù)：
| 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
| 觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
| 觀察筒 | 寬視場鉸鏈?zhǔn)秸袢坑^察筒,0-35°傾角可調(diào)， 瞳距調(diào)節(jié) ：50-76mm，分光比 100:0 或 0:100 |
| 目鏡 | 無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相 DIC 物鏡 5X、10X、20X、50X 、100X |
| 轉(zhuǎn)換器 | 明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽 |
| 機(jī)架組 | 1、反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) 2、透反機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm，微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) |
| 載物臺 | 右手位 14×12 英寸三層機(jī)械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm， 移動范圍 ：356mmX305mm 帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ；玻璃載物臺板 ( 反射用） |
| 電動平臺 | 面積 495mmX641mm，移動范圍 ：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動，重復(fù)定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺 |
| 照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
| 攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦 |
| 其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組 ；高精度測微尺 ；DIC 組件 |
