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產(chǎn)品介紹：
該設備主要用于半導體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、LCD液晶屏玻璃側(cè)邊檢測、實驗室材料分析及其他精密工程檢測領域，可對樣品進行明場、暗場、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素燈、光纖照明，可以配電動物鏡轉(zhuǎn)盤、成像系統(tǒng)，可以對應多種需求的系統(tǒng)顯微鏡。
采用Nikon或者Olympus高解析度光學系統(tǒng)。
強大的點、線、弧量測功能。
清晰逼真的觀測效果。
龍門式結(jié)構(gòu)設計。
花崗巖基座平臺。
可依據(jù)客戶要求設計。
技術(shù)參數(shù)：
| 工作臺尺寸（mm） | 800*900 |
| 玻璃臺尺寸（mm） | 200 |
| 運動行程（mm） | X：600Y：700（電動） |
| 調(diào)焦行程（mm） | Z軸100mm（電動） |
| 主顯微鏡系統(tǒng) （Nikon or Olympus） | 三目觀察筒 目鏡：10倍 物鏡：5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（BD）、100X（BD） 觀察模式：反射，透射，偏光，明場，暗場，DIC 5孔電動物鏡轉(zhuǎn)換鏡 |
| 側(cè)顯系統(tǒng) | 單筒鏡頭：美國NAVITAR無窮遠同軸光鏡頭；變倍范圍：0.7X-4.5X 金相物鏡：三豐APO長工作距離金相物鏡（選配）；倍率：10X；工作距離：33.5mm（加裝金相物鏡后）；景深：3.5um；Min Focus Step:0.3um；激光安全防撞 |
| 示值誤差（視場內(nèi)）mm | 視場外精度XY小于等于（3+L/200）um，Z小于等于（5+L/200）um |
| 照明系統(tǒng) | 鹵素燈表面光及輪廓光 |
| 操作臺 | 定制型操作臺 |
| 功能 | 啟動/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/電腦開關/破真空/倍率切換/三軸微調(diào)/電動偏光/電動DIC/側(cè)顯Z軸 |
| 驅(qū)動系統(tǒng) | 三軸伺服電機驅(qū)動 |
| 工業(yè)相機 | 傳感器類型： CMOS，全局快門;傳感器型號： IMX264;像元尺寸： 3.45 μm × 3.45 μm；靶面尺寸： 2/3”；分辨率： 2448 × 2048;幀率：23.27 fps 動態(tài)范圍： 72 dB;信噪比： 40.2 dB；黑白/彩色： 彩色 |
| 玻璃臺承重 | 20KG |
| 儀器電源 | 220V(AC) 50HZ ,125W |
| Passline（mm） | 950 |
| 測量軟件 | 主顯/側(cè)顯雙畫面切換；主顯/側(cè)顯校正數(shù)據(jù)自動切換；完整的畫面實時二維量測；自動保存圖片；錄像功能；實時坐標定位；指定的Folder和Server上保存Image；支持多款控制器；支持多款工業(yè)相機；圖像掃描拼接 |
