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產(chǎn)品介紹
硅基顯示鐳射修復(fù)多功能探針臺(tái)，適用于面板顯示行業(yè)研發(fā)測(cè)試系統(tǒng)，包含尺寸測(cè)量、鐳射修復(fù)，面板點(diǎn)亮，電信號(hào)測(cè)試等多種功能 于一體。系統(tǒng)可以設(shè)置雙工位或多工位，可同時(shí)測(cè)試不同樣品，提升測(cè)試效率 。
產(chǎn)品參數(shù)：
工作臺(tái)尺寸(mm) | L680 x W575 (可定制) |
| 工作臺(tái)數(shù)量 | 2 |
| 工作臺(tái)材質(zhì) | 玻璃 |
| X-Y-Z行程(mm) | XYZ：370x470x150 |
| X-Y軸運(yùn)動(dòng)速度(mm) | 0~200/s可調(diào) |
| Z軸運(yùn)動(dòng)速度(mm) | 0~100/s 可調(diào) |
| 調(diào)焦行程(mm) | 150 |
| 顯微光路 | 三豐APO長(zhǎng)焦物鏡： 5X/10X/20NIP/50XNIR/100XNUV |
| 激光系統(tǒng)(nm) | 進(jìn)口激光器 振蕩波長(zhǎng):1064/532/355 最大輸出能量 (mj/puls): 1.2/1.2/0.8 可加工材質(zhì)：Cr/AI/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN等 激光器冷卻方式：風(fēng)冷/水冷 |
| 像素(um) | 傳感器：2/3“ IMX264 CMOS 傳感器，全局快門 像元尺寸：3.45 x3.45 分辨率：2448*2048 顏色：彩色 |
| 探針系統(tǒng) | 三邊式探針座支撐臺(tái)設(shè)計(jì)，可支持多達(dá)12個(gè)探針座同時(shí)點(diǎn)針測(cè)試 探針座XYZ行程：12x12x12mm，線性移動(dòng)，移動(dòng)精度＜1μm 探針座固定方式：磁吸式 探針夾具：同軸/三同軸夾具 搭配探針類型：直流針，探針卡，射頻探針等 電信號(hào)測(cè)試類型：I-V,C-V,R,脈沖，頻率等測(cè)試 |
| 屏幕點(diǎn)燈機(jī) | 探針數(shù)量：45根(可定制) 支持Cell端的點(diǎn)亮測(cè)試 |
| 操作軟件 | CD-C |
| 設(shè)備隔振 | 氣浮式隔振 |
| 設(shè)備外形尺寸(mm) | L*W*H 3300*2200*2650 |
設(shè)備總重(kg) | 約7200 |
