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產(chǎn)品中心

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雙軸12英寸全自動晶圓劃片機（自動上下料）

1、技術(shù)等級達到同類世界最高水準。
2、設(shè)備所選用的機械、電氣、水路、氣路等元件是成熟、可靠的產(chǎn)品。設(shè)備技術(shù)先進，設(shè)計何理，操作簡單，易于維護和維修。
3、本設(shè)備采用先進視覺算法，保證定位及糾偏精度達到1um，可有效滿足晶圓劃片對高精度的需求。
4、機械結(jié)構(gòu)和工作界面根據(jù)世界流行機器設(shè)計。
5、進口C3級滾珠絲桿及雷尼紹光柵尺閉環(huán)控制，可達到世界級水平。
6、濟南大理石機身，永不變形。
7、標配：8英寸+12英寸;標配自動影像識別功能 、標配NCS（非接觸測高）功能選配BBD（刀破損檢測）功能 、選配刀痕檢測功能 、選配多工件切割、在線磨刀等。
8、定制化的軟件操作界面，符合客戶操作習(xí)慣。
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  • 產(chǎn)品簡介
設(shè)備介紹


晶圓劃片機作為半導(dǎo)體芯片后道工序的核心設(shè)備之一，用于晶圓的劃片、分割或開槽等精細加工。


設(shè)備可用于加工最大邊長為310 mm的方形工作物（特殊可選配）。


本設(shè)備采用“對向式雙主軸結(jié)構(gòu)以及雙X軸結(jié)構(gòu)布局”，并且雙軸可同時加工使用，節(jié)省自動上料時間，提高了生產(chǎn)效率。


本設(shè)備可以選配自動上下料。


設(shè)備核心參數(shù)


X軸(切割軸)

切割范圍

≥350mm

工作臺直線度

0.002mm/305mm

Y(進給軸)

切割范圍

≥305mm

分辨率

0.0001mm

定位精度

0.001mm/5mm

0.003mm/305mm

工作臺直線度

0.002mm/305mm

Z軸

有效行程

35mm

進給最小分辨率

0.0001mm

重復(fù)精度

0.001mm

使用最大刀盤直徑

59mm(2時硬刀)

T軸(旋轉(zhuǎn)軸)

額定轉(zhuǎn)矩

20N.M

轉(zhuǎn)速

120rpm

分辨率

0.0001°

空氣主軸

轉(zhuǎn)數(shù)范圍

6000-60000rpm

主軸功率

1.8KW(2.4KW可選)

其它參數(shù)

根據(jù)客戶需要訂制