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產(chǎn)品中心

當(dāng)前所在的位置：首頁 · 產(chǎn)品中心 · 智能制造 · 晶圓劃片機(jī)

單軸12英寸全自動晶圓劃片機(jī)（砂輪）

1、技術(shù)等級達(dá)到同類世界最高水準(zhǔn)。
2、設(shè)備所選用的機(jī)械、電氣、水路、氣路等元件是成熟、可靠的產(chǎn)品。設(shè)備技術(shù)先進(jìn)，設(shè)計(jì)何理，操作簡單，易于維護(hù)和維修。 。
3、本設(shè)備采用先進(jìn)視覺算法，保證定位及糾偏精度達(dá)到1um，可有效滿足晶圓劃片對高精度的需求。
4、機(jī)械結(jié)構(gòu)和工作界面根據(jù)世界流行機(jī)器設(shè)計(jì)。
5、進(jìn)口C3級滾珠絲桿及雷尼紹光柵尺閉環(huán)控制，可達(dá)到世界級水平。
6、濟(jì)南大理石機(jī)身，永不變形。
7、標(biāo)配：8英寸+12英寸;標(biāo)配自動影像識別功能 、標(biāo)配NCS（非接觸測高）功能選配BBD（刀破損檢測）功能 、選配刀痕檢測功能 、選配多工件切割、在線磨刀等。
8、定制化的軟件操作界面，符合客戶操作習(xí)慣。
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  • 產(chǎn)品簡介

設(shè)備介紹


晶圓劃片機(jī)作為半導(dǎo)體芯片后道工序的核心設(shè)備之一，用于晶圓的劃片、分割或開槽等微細(xì)加工，其切割的質(zhì)量與效率直接影響到芯片的質(zhì)量和生產(chǎn)成本。


被設(shè)備可用于加工最大邊長為310 mm的方形工作物（特殊選配）。


該設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)配置了輸出功率為1.8 kW的主軸，還將高扭矩主軸（2.2 kW）作為特殊選配供用戶選擇。


使用2.2 kW主軸，可裝配?58mm切割刀片，能夠?qū)杌螂y加工材料進(jìn)行切割加工。


設(shè)備參數(shù)


X軸(切割軸)

切割范圍

≥350mm

工作臺直線度

0.002mm/305mm

Y(進(jìn)給軸)

切割范圍

≥305mm

分辨率

0.0001mm

定位精度

0.001mm/5mm

0.003mm/305mm

工作臺直線度

0.002mm/305mm

Z軸

有效行程

35mm

進(jìn)給最小分辨率

0.0001mm

重復(fù)精度

0.001mm

使用最大刀盤直徑

59mm(2時硬刀)

T軸(旋轉(zhuǎn)軸)

額定轉(zhuǎn)矩

20N.M

轉(zhuǎn)速

120rpm

分辨率

0.0001°

空氣主軸

轉(zhuǎn)數(shù)范圍

6000-60000rpm

主軸功率

1.8KW(2.4KW可選)

其他規(guī)格

電源

220V/50HZ

用電量

0.9KW(切割中）

0.3KW(待機(jī)中)

壓縮空氣

0.5-0.8MPa

切割耗氣量

220L/min

切割水

壓力:220L/min

耗水量:1.5L/min(在0.3MPa下測量)

排風(fēng)量

5.0m3/ min

設(shè)備尺寸

1070×1150×1800mm

設(shè)備重量

≤1.2T