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2023行家極光獎(jiǎng) | 才道精密原子力顯微鏡獲“年度優(yōu)秀產(chǎn)品獎(jiǎng)”
2023年12月13日-14日，行家說(shuō)三代半年會(huì)“2023碳化硅&氮化鎵產(chǎn)業(yè)高峰論壇暨極光獎(jiǎng)?lì)C獎(jiǎng)典禮”在深圳隆重舉行。才道精密憑借在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域納米尺度下三維表征檢測(cè)的核心設(shè)備——原子力顯微鏡，榮膺行家極光獎(jiǎng)——【年度優(yōu)秀產(chǎn)品獎(jiǎng)】。
“行家極光獎(jiǎng)”旨在表彰在技術(shù)創(chuàng)新、推廣應(yīng)用、產(chǎn)業(yè)化等方面作出突出貢獻(xiàn)的企業(yè)和優(yōu)秀產(chǎn)品。此次2023年行家極光獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)的還有北方華創(chuàng)，大族半導(dǎo)體，英飛凌，意法半導(dǎo)體、京東方華燦光電、三安半導(dǎo)體、天科合達(dá)等業(yè)內(nèi)頭部企業(yè)。
原子力顯微鏡是繼掃描隧道顯微鏡之后發(fā)明的一種具有原子級(jí)高分辨的新型儀器，可以在大氣和液體環(huán)境下對(duì)各種材料和樣品進(jìn)行納米區(qū)域的物理性質(zhì)包括形貌進(jìn)行探測(cè)，亦可直接進(jìn)行納米操縱;因此它的發(fā)明者在1986 年獲得了諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)，原子力顯微鏡是當(dāng)今世上分辨率最高的表面觀測(cè)儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、納米功能材料、生物、化工、食品、醫(yī)藥研究和科研院所各種納米相關(guān)學(xué)科的研究實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域中，成為納米科學(xué)研究的基本工具。
由于原子力顯微鏡在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間里被國(guó)外品牌壟斷，進(jìn)口精密儀器所涉及的交貨周期長(zhǎng)、采購(gòu)成本高，售后維修保養(yǎng)不到位等，對(duì)國(guó)內(nèi)用戶的發(fā)展產(chǎn)生了極大的制約。
才道精密一直致力于半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體行業(yè)的高精度工業(yè)檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)?；诎雽?dǎo)體行業(yè)客戶對(duì)原子力顯微鏡的需求，公司于2023年推出了12英寸大樣品工業(yè)型原子力顯微鏡，主要用于晶圓等納米材料表面三維形貌及粗糙度測(cè)量，目前已在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域獲得廣泛關(guān)注與應(yīng)用。
圖左三為江蘇才道精密儀器有限公司領(lǐng)獎(jiǎng)代表
獲獎(jiǎng)儀器：原子力顯微鏡
設(shè)備型號(hào)：CD-AFM-12S
應(yīng)用領(lǐng)域：
微納材料表面三維形貌、粗糙度的檢測(cè)。
包括：晶圓（硅片）；光柵；陶瓷；合金；薄膜；晶體；超晶玻璃；高分子材料；復(fù)合材料；第三代半導(dǎo)體碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰化合物襯底等。
主要優(yōu)勢(shì)：
一體式三維全量程閉環(huán)頭部掃描。實(shí)現(xiàn)閉環(huán)反饋，定位更精準(zhǔn)。
原位數(shù)字化高分辨光學(xué)顯微鏡觀測(cè)系統(tǒng)，配備1-12倍無(wú)級(jí)光學(xué)變焦，同軸可調(diào)亮度輔助照明光源。
300mm真空吸附樣品臺(tái)，自動(dòng)適應(yīng)各種尺寸晶圓的全軟件控制的多道真空吸軌。掃描角度：覆蓋0～360°。
超實(shí)用和擴(kuò)展，可以實(shí)現(xiàn)各種測(cè)量?jī)x器的聯(lián)動(dòng)使用，最終實(shí)現(xiàn)跨尺度原位檢測(cè)。
未來(lái)，才道精密將一如既往聚焦半導(dǎo)體行業(yè)，深耕產(chǎn)品創(chuàng)新，為精密工業(yè)顯微裝備國(guó)產(chǎn)化砥礪前行！
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