2024年6月22日—23日，“新一代半導(dǎo)體晶體技術(shù)及應(yīng)用大會”在濟(jì)南召開。本次會議是在第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、山東大學(xué)指導(dǎo)下，山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料研究院、山東大學(xué)晶體材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、濟(jì)南市歷城區(qū)人民政府、山東中晶芯源半導(dǎo)體科技有限公司、山東華光光電子股份有限公司、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聯(lián)合主辦，并得到了濟(jì)南市政府、山東省科技廳的大力支持。
中國科學(xué)院院士，中國科學(xué)院原副院長，中國科學(xué)院大學(xué)原黨委、校長，大會顧問李樹深，中國科學(xué)院院士、廈門大學(xué)黨委書記、大會主席張榮，中國科學(xué)院院士江風(fēng)益，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長、大會主席吳玲，山東大學(xué)黨委常委、副校長蘆延華，山東大學(xué)晶體材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任、新一代半導(dǎo)體材料研究院院長、大會主席徐現(xiàn)剛，廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司董事長王垚浩，山東華光光電子有限公司董事長吳德華，濟(jì)南市委副書記、市長于海田，濟(jì)南市副市長謝堃，濟(jì)南市政府秘書長韓振國，山東省科技廳二級巡視員王洪國等院士、領(lǐng)導(dǎo)、專家，以及相關(guān)部門負(fù)責(zé)領(lǐng)導(dǎo)，產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)高校院所專家、學(xué)者、金融機(jī)構(gòu)代表、產(chǎn)業(yè)界領(lǐng)袖等350余位嘉賓代表出席本次論壇。圍繞碳化硅晶體技術(shù)及其應(yīng)用，氮化鎵、超寬禁帶晶體及其應(yīng)用，砷化鎵、磷化銦晶體及激光器技術(shù)，金剛石和半導(dǎo)體測試技術(shù)等主題，深入探討交流新一代半導(dǎo)體晶體技術(shù)進(jìn)展與發(fā)展趨勢，分享前沿研究成果，攜手助力我國新一代半導(dǎo)體晶體技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展
才道精密做為半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域的新銳企業(yè)，做為本次會議的協(xié)辦單位，出席了本次會議。
做為會議的協(xié)辦單位，才道精密在本次會議上，就第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，“襯底和外延片檢測設(shè)備國產(chǎn)化”的現(xiàn)狀，做了專題發(fā)言。
會議現(xiàn)場，才道精密也展示了“進(jìn)口替代”“國產(chǎn)化檢測設(shè)備”一個代表性成果——納米尺度的檢測設(shè)備：原子力顯微鏡；這是碳化硅氮化鎵等新一代化合物半導(dǎo)體襯底和外延片必檢項(xiàng)—粗糙度檢測必用設(shè)備。同時，公司工作人員現(xiàn)場為來賓做了操作演示，鑒證了掃描效果和實(shí)際精度。
原子力顯微的市場，尤其是工業(yè)端的市場，一直被國際品牌所壟斷。致力于做“進(jìn)口替代”的才道精密，經(jīng)過幾年的努力，終于首先在半導(dǎo)體工業(yè)端實(shí)現(xiàn)了該設(shè)備的國產(chǎn)化。目前該設(shè)備正在被半導(dǎo)體行業(yè)用戶所了解并選用。
在這次會議上，國產(chǎn)化原子力顯微的亮相，也讓與會的專家學(xué)者產(chǎn)業(yè)界同仁，看到了檢測設(shè)備國產(chǎn)化的期望和中國企業(yè)做國產(chǎn)化設(shè)備的決心。
