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首臺工業(yè)型12吋原子力顯微鏡順利交付

2023-08-16
2023年7月24--31日,經(jīng)過為期一周的安裝、調試和操作培訓,12吋原子力顯微鏡(CD-AFM-12S)順利實現(xiàn)交付,這是首臺12寸工業(yè)型原子力顯微鏡??蛻舨少徳撛O備是用來做檢測各種尺寸的光柵。


四年磨一劍,風雨未曾阻


2019年,江蘇才道精密儀器有限公司布局半導體高精度檢測領域,瞄準原子力顯微鏡這一高精尖儀器的國內空白市場,毅然決然投身于原子力顯微鏡國產(chǎn)化的荊棘之路。四年來,才道技術人員攻堅克難,終于在2022年底,推出了工業(yè)型的原子力顯微鏡。


2023年7月底,才道精密首臺12吋原子力顯微鏡,順利交付使用。


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發(fā)貨現(xiàn)場


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安裝調試現(xiàn)場



                                                              

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對客戶進行操作培訓


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培訓完成,頒發(fā)證書


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該設備有精致的顏值,更有多項自動化性能、同時,更具實用性和可拓展性,可實現(xiàn)多種測量儀器聯(lián)合使用,最終實現(xiàn)跨尺度的原位檢測。


工業(yè)型大樣品原子力顯微鏡的主要應用場景有:


微納材料表面三維形貌、粗糙度的檢測——


包括:晶圓(硅片);光柵;陶瓷;合金;薄膜;晶體;超晶玻璃;高分子材料;復合材料;第三代半導體砷化鎵、氮化鎵、鈮酸鋰化合物襯底等。


實測圖例1:


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實測圖例2:


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