四年磨一劍,風雨未曾阻
2019年,江蘇才道精密儀器有限公司布局半導體高精度檢測領域,瞄準原子力顯微鏡這一高精尖儀器的國內空白市場,毅然決然投身于原子力顯微鏡國產(chǎn)化的荊棘之路。四年來,才道技術人員攻堅克難,終于在2022年底,推出了工業(yè)型的原子力顯微鏡。
2023年7月底,才道精密首臺12吋原子力顯微鏡,順利交付使用。
發(fā)貨現(xiàn)場
安裝調試現(xiàn)場
對客戶進行操作培訓
培訓完成,頒發(fā)證書
該設備有精致的顏值,更有多項自動化性能、同時,更具實用性和可拓展性,可實現(xiàn)多種測量儀器聯(lián)合使用,最終實現(xiàn)跨尺度的原位檢測。
工業(yè)型大樣品原子力顯微鏡的主要應用場景有:
微納材料表面三維形貌、粗糙度的檢測——
包括:晶圓(硅片);光柵;陶瓷;合金;薄膜;晶體;超晶玻璃;高分子材料;復合材料;第三代半導體砷化鎵、氮化鎵、鈮酸鋰化合物襯底等。
實測圖例1:
實測圖例2: