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產(chǎn)品介紹：
該光學(xué)顯微鏡檢查設(shè)備主要應(yīng)用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)光電產(chǎn)業(yè)，為其研發(fā)、品質(zhì)管控與不良分析提供必需的檢測(cè)設(shè)備。可對(duì)應(yīng)觀察OLB壓接粒子分布、液晶LCD面板Pattern異物/劃傷等不良，以及導(dǎo)電粒子粒徑測(cè)量等功能。
該產(chǎn)品的測(cè)量軟件高度集成了測(cè)量、缺陷分析，多軸運(yùn)動(dòng)速度控制，以及光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié)功能(光源調(diào)節(jié)、倍率調(diào)節(jié)、焦距自動(dòng)調(diào)節(jié)等功能)，與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動(dòng)控制、人性化操作等方面的優(yōu)勢(shì)。
特色：
1、采用Nikon或者Olympus高解析度光學(xué)系統(tǒng)。
2、強(qiáng)大的點(diǎn)、線、弧量測(cè)功能。
3、清晰逼真的觀測(cè)效果。
4、龍門式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
5、花崗巖基座平臺(tái)。
6、可依據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)。
技術(shù)參數(shù)：
| 工作臺(tái)尺寸（mm） | 2800*1900 |
| 玻璃臺(tái)尺寸（mm） | 2600*1700 |
| 運(yùn)動(dòng)行程（mm） | X:2500 Y:1600（電動(dòng)） |
| 調(diào)焦行程（mm） | Z軸100mm（電動(dòng)） |
| 主顯微鏡系統(tǒng)（Nikon or Olympus） | 三目頭 目鏡：10倍 物鏡：2.5X、5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（BD）觀察模式：反射，透射，偏光，明場(chǎng)，暗場(chǎng)，DIC 5孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換鏡 |
| 側(cè)顯系統(tǒng) | 單筒鏡頭：美國(guó)NAVITAR無窮遠(yuǎn)同軸光鏡頭 變倍范圍：0.7X-4.5X 金相物鏡：三豐APO長(zhǎng)工作距離金相物鏡（選配） 倍率：10X 工作距離：33.5mm（加裝金相物鏡后） 景深：3.5um Min Focus Step: 0.3um 激光安全防撞 |
| 示值誤差（視場(chǎng)內(nèi)）mm | 視場(chǎng)外精度X.Y小于等于（3+L/200）um，Z小于等于（5+L/200）um |
| 照明系統(tǒng) | 鹵素?zé)舯砻婀饧拜喞?/td> |
| 操作臺(tái) | 定制型操作臺(tái) 功能： 啟動(dòng)/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/電腦開關(guān)/破真空/倍率切換/三軸微調(diào)/電動(dòng)偏光/電動(dòng)DIC |
| 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | X/Y龍門直線電機(jī)雙驅(qū)，Z軸伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
| 工業(yè)相機(jī) | 傳感器類型： CMOS，全局快門 傳感器型號(hào)： IMX264 像元尺寸： 3.45 μm × 3.45 μm 靶面尺寸： 2/3” 分辨率： 2448 × 2048 幀率：23.27 fps 動(dòng)態(tài)范圍： 72 dB 信噪比： 40.2 dB 黑白/彩色： 彩色 |
外形尺寸（mm） 長(zhǎng)X寬X高 | 4500*2500*1500 |
| 儀器重量（KG） | 8300 |
| 玻璃臺(tái)承重 | 20KG |
| 儀器電源 | 220V(AC) 50HZ ,125W |
| Passline（mm） | 950 |
| 測(cè)量軟體 | 完整的畫面實(shí)時(shí)二維量測(cè) 自動(dòng)保存圖片 錄像功能 實(shí)時(shí)坐標(biāo)定位 指定的Folder和Server上保存Image 支持多款控制器 支持多款工業(yè)相機(jī) 圖像掃描拼接 |
