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產(chǎn)品介紹
掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。
掃描電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)是，有較高的放大倍數(shù)，20-20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào)；有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；試樣制備簡(jiǎn)單。
目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器。
掃描電子顯微鏡已成為表征物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)不可或缺的儀器。
在掃描電鏡中，電子束與試樣的物質(zhì)發(fā)生相互作用，可產(chǎn)生二次電子、特征X射線、背散射電子等多種的信號(hào)，這些得到的都是接近樣品表面的信息。
在掃描電鏡上配置透射附件，應(yīng)用透射模式（ STEM ）可得到物質(zhì)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息，使其既有掃描電鏡的功能，又具備透射電鏡的功能。
技術(shù)參數(shù)：
| 分辨率（Resolution） | 5nm (30kV, SE Image) |
| 10nm (30kV, BSE Image) | |
| 放大倍率（Magnification） | 30x~150,000x |
| 加速電壓（Accelerating Voltage） | 1kVto30kV(1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV-6step) |
| 圖像檢測(cè) | 二次電子圖像-(SEI)-SecondaryElectronImage |
| （Signal Detection） | 背散射電子圖像 |
| 燈絲類型（Filament type） | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 偏壓系統(tǒng)（Bias voltage system） | 自動(dòng)偏壓方式（Automatic mode） |
| 電子槍校正（Electron gun alignment） | 手動(dòng)方式（Manual mode） |
| 聚光鏡（Focus Lens） | 2段式磁線圈透鏡 |
| 物鏡（Objective Lens） | 1段式磁線圈透鏡 |
| 探測(cè)器類型(Detectortype) | SE Detector/ BSE Detector |
| 載物臺(tái)系統(tǒng)( Stage System) | 自動(dòng)或者手動(dòng)（Auto or Manual） |
| 載物臺(tái)移動(dòng)（Stage Traverse） | 5軸操控或自動(dòng)操控5 axis System，AUTO |
| 圖像掃描（Image Scanning system） | 快速掃描(FastScan):320x240(Scantime:0.1sec.) |
| 低速掃描(SlowScan):640x480(Scantime:3sec.) | |
| 自動(dòng)功能（Automatic Function） | 自動(dòng)啟動(dòng)(Auto start)，自動(dòng)聚焦(Auto focus)，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)(Auto Brightness/Contrast) |
