當前所在的位置:首頁 · 產(chǎn)品中心 · 電性測試 · 半導體芯片探針臺
產(chǎn)品介紹
probet600手動探針臺具有操作便捷,精確度高,結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定等特點,人體工程學設計,同時支持多功能配置,擁有功能豐富 。
產(chǎn)品參數(shù):
型號(三種規(guī)格尺寸) | Probet400 | Probet600 | Probet800 | ||
外形(mm) | 550長x600寬x640高 | 580長x680寬x640高 | 650長x780寬x750高 | ||
重量(kg) | 約70 | 約80 | 約90 | ||
電壓 | 220V AC 50~60HZ | ||||
樣品臺 | 尺寸(4種規(guī)格) | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
X-Y行程 | 4英寸x4英寸 | 6英寸x6英寸 | 8英寸x8英寸 | 12英寸x12英寸 | |
Z軸行程(mm) | 10微調(diào) | ||||
移動精度(μm) | 10 | ||||
樣品固定方式 | 真空吸附 | ||||
背電極測試功能 | 手動 | ||||
針座平臺 | 最多6個針座 | 最多8個針座 | 最多10個針座 | ||
光學特性 | 顯微鏡行程(mm) | X-Y軸行程50.8x50.8Z軸支持微調(diào)50.8 | |||
顯微鏡移動精度(μm) | 1 | ||||
切換鏡頭方式 | 可升級為氣動快速升降 | ||||
放大倍數(shù) | 20~2000X | ||||
鏡頭規(guī)格 | 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配) | ||||
CCD像素 | 50W/200W/500W | ||||
點針規(guī)格 | X-Y-Z行程(mm) | 12 x 12 x 12 | |||
機械精度(μm) | 10/2 /0 .7 | ||||
漏電精度 | 10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi)使用) | ||||
接頭形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三同軸 |