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產(chǎn)品介紹：
該設備主要應用于L CD 、PDP 、PCB等相關光電產(chǎn)業(yè)，為 其研發(fā)、品質(zhì) 管控與不良分析提供必需檢測的設備。此設備是對PI預烘烤后的基板進行檢查，檢查MUR A ，點狀等宏觀不良，同時可以實現(xiàn)對PI膜印刷精度測量的設備。
該設備的測量軟件高度集成了測量、缺 陷分析， 多軸運動速度控制，以及光學系統(tǒng)調(diào)節(jié)功能(光源調(diào)節(jié)、自動倍率調(diào)節(jié)、自動對焦調(diào)節(jié)等功能) ， 與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自 動控制、人性化操作等方面的優(yōu)勢。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 運動行程 (mm) | X:1100 Y:1500 (電動） |
| 調(diào)焦行程 (mm) | Z軸150(電動） |
| 主顯微鏡系統(tǒng) | 三目頭 目鏡：10倍 物鏡：2.5X、5X（BD）、10X（BD）、 20X（BD）、50X（BD） 觀察模式：反射 、透射 、偏光 、 明場 、暗場 、DIC 5孔電動物鏡轉(zhuǎn)換鏡 |
| 示值誤差(um) | 視場外精度 X/Y小于等于(3+L/200) , Z小于等于(5+L/200) |
照明系統(tǒng) | 觀察顯微鏡：鹵素表面光及LED光 |
| 操作臺 | 功能：啟動/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/ 破真空/吸附/局部吸附/ 亮度調(diào)節(jié)/三軸微調(diào) |
| 驅(qū)動系統(tǒng) | X/Y龍門直線電機雙驅(qū) ，Z軸伺服電機驅(qū)動 |
外形尺寸 (mm) 長X寬X高 | 2510*2210*3400 |
| 儀器重量 (kg) | 4500 |
| 玻璃臺承重(kg) | 20 |
| 儀器電源 | 220V(AC) 5OHZ |
| 運行高度 ( mm ) | 1000 |
測量軟體 | 完整的畫面實時二維量測/自動保存圖片/ 錄像功能/實時坐標定位/指定的Folder和Server上保存Image支持多款控制器/ 支持多款工業(yè)相機/圖像掃描拼接 |
