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產(chǎn)品介紹：
該設備主要應用于硅基顯示行業(yè)，為其研發(fā)、品質(zhì)管控與不良分析提供必需的檢測和修復。對不良位置做激光標記、對不良點進行激光修復等。
該產(chǎn)品的軟件高度集成了測量、缺陷分析，多軸運動速度控制，雙鏡頭切換，以及光學系統(tǒng)調(diào)節(jié)功能(光源調(diào)節(jié)、倍率調(diào)節(jié)、焦距自動調(diào)節(jié)等功能)，與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動控制、人性化操作等方面的優(yōu)勢。
1、采用Nikon或者Olympus高解析度光學系統(tǒng)。
2、強大的點、線、弧量測功能。
3、清晰逼真的觀測效果。
4、龍門式結構設計。
5、花崗巖基座平臺。
6、可依據(jù)客戶要求設計。
技術參數(shù)：
| 工作臺尺寸（mm） | 2010*1940 |
| 玻璃臺尺寸（mm） | 1850*1330 |
| 運動行程（mm） | X:1500 Y:925（電動） |
| 調(diào)焦行程（mm） | Z軸100mm（電動） |
| 主顯微鏡系統(tǒng)（Nikon or Olympus） | 三目頭 目鏡：10倍 物鏡：5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（CR）、100X（BD） 觀察模式：反射，透射，偏光，明場，暗場，DIC、熒光 5孔電動物鏡轉(zhuǎn)換鏡 |
激光系統(tǒng) | 鏡頭： 光路：三豐VMU系列激光專用光路 金相物鏡：三豐APO長工作距離紅外紫外金相物鏡 倍率：5X、10X、20X、50X 工作距離：34mm、34mm、20mm、17mm 景深：14um、3.5um、1.7um、1.6um |
激光器： 振蕩波長（nm）：1064、532、355 最大輸出能量（mJ / puls）：1.2@1064、1.2@532、0.8@355 最大峰值功率（MW）：0.17@1064、0.17@532、0.13@355 脈沖寬度（納秒）：8-6@1064、8-6@532、7-5@355 反復振蕩頻率（Hz）： 1～6Hz 角型狹縫：電動XY /最大3毫米。 輸出變量（％）：0-100% (512段階） 最小加工直徑（使用100倍鏡頭時）（μm）：2@1064、1@532@355 最大工作直徑（使用10倍鏡頭時）（μm）：300@1064、150（使用20x鏡頭時的加工直徑）@532@355 | |
| 示值誤差（視場內(nèi)）mm | 視場外精度X.Y小于等于（3+L/200）um，Z小于等于（5+L/200）um |
| 照明系統(tǒng) | 觀察顯微鏡：汞表面、LED表面光及輪廓光 |
| 激光修復顯微鏡： | 鹵素燈表面光及輪廓光 |
| 操作臺 | 定制型操作臺 |
| 功能： | 啟動/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/電腦開關/破真空/吸附/局部吸附/亮度調(diào)節(jié)/倍率切換/三軸微調(diào)/激光控制 |
| 驅(qū)動系統(tǒng) | X/Y龍門直線電機雙驅(qū)，Z軸伺服電機驅(qū)動 |
| 工業(yè)相機 | 傳感器類型： CMOS，全局快門 傳感器型號： IMX264 像元尺寸： 3.45 μm × 3.45 μm 靶面尺寸： 2/3” 分辨率： 2448 × 2048 幀率：23.27 fps 動態(tài)范圍： 72 dB 信噪比： 40.2 dB 黑白/彩色： 彩色 |
外形尺寸（mm） 長X寬X高 | 3600*2700*1900 |
| 儀器重量（KG） | 10000 |
| 玻璃臺承重 | 20KG |
| 儀器電源 | 220V(AC) 50HZ ,125W |
