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產(chǎn)品中心

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探針臺(tái)鐳射修復(fù)顯微鏡

1、雙工位人體力學(xué)設(shè)計(jì),提升測(cè)試效率。
2、大型龍門,實(shí)現(xiàn)測(cè)量、電測(cè)和鐳射修復(fù)于一體。
3、自研發(fā)軟件實(shí)現(xiàn)便捷運(yùn)動(dòng)控制。
4、支持微距對(duì)針,面板點(diǎn)亮測(cè)試。
5、氣浮式隔振結(jié)構(gòu),隔離外界振動(dòng)干擾。
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  • 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品介紹:


MINI/MICRO LED面板鐳射探針臺(tái),適用于面板行業(yè)研發(fā)測(cè)試系統(tǒng),包含鐳射修復(fù) ,面板點(diǎn)亮 ,電信號(hào)測(cè)試 ,尺寸測(cè)量等功能 系統(tǒng)設(shè)置雙工位 ,可同時(shí)測(cè)試不同樣品,提升測(cè)試效率。


產(chǎn)品參數(shù):


工作臺(tái)尺寸(mm)

L680 x W575 (可定制)

工作臺(tái)數(shù)量
2
工作臺(tái)材質(zhì)玻璃
X-Y-Z行程(mm)XYZ:370x470x150
X-Y軸運(yùn)動(dòng)速度(mm)0~200/s可調(diào)
Z軸運(yùn)動(dòng)速度(mm)0~100/s 可調(diào)
調(diào)焦行程(mm)150
顯微光路三豐APO長(zhǎng)焦物鏡:
5X/10X/20NIP/50XNIR/100XNUV
激光系統(tǒng)(nm)
進(jìn)口激光器
振蕩波長(zhǎng):1064/532/355
最大輸出能量 (mj/puls): 1.2/1.2/0.8
可加工材質(zhì):Cr/AI/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN等
激光器冷卻方式:風(fēng)冷/水冷
像素(um)傳感器:2/3“ IMX264 CMOS 傳感器,全局快門
像元尺寸:3.45 x3.45
分辨率:2448*2048
顏色:彩色
探針系統(tǒng)三邊式探針座支撐臺(tái)設(shè)計(jì),可支持多達(dá)12個(gè)探針座同時(shí)點(diǎn)針測(cè)試
探針座XYZ行程:12x12x12mm,線性移動(dòng),移動(dòng)精度<1μm
探針座固定方式:磁吸式
探針夾具:同軸/三同軸夾具
搭配探針類型:直流針,探針卡,射頻探針等
電信號(hào)測(cè)試類型:I-V,C-V,R,脈沖,頻率等測(cè)試
屏幕點(diǎn)燈機(jī)探針數(shù)量:45根(可定制)
支持Cell端的點(diǎn)亮測(cè)試
操作軟件CD-C
設(shè)備隔振氣浮式隔振
設(shè)備外形尺寸(mm)L*W*H 3300*2200*2650

設(shè)備總重(kg)

約7200

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